说白了，大家现在不是在做学术论文了，而是在把这事儿往车间里搬。实验室里有的在测靶材性能，有的在调激光功率，有的在算镜面能撑多久——进展、问题都摆在台面上，谁也不敢说这只是个概念验证。把波长从现在的13.5纳米再压到6.7纳米，物理上确实能带来更高分辨率，但把想

制程 圣杯 beuv 1nm制程 制程前瞻 2025-10-27 12:37  2